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Lehrstuhl
Metallische Werkstoffe
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Rasterelektronenmikroskop 1540EsB Cross Beam

Gerät: Rasterelektronenmikroskop 1540EsB Cross Beam
Hersteller: Zeiss
Daten: Auflösung: 1,0 nm (15 kV); 1,7 nm (1 kV);
4,0 nm (0,1 kV)
Beschleunigungsspannung: 0,1-30 kV
Thermo Noran System Six EDX-System
Focused Ion Beam Auflösung 6 nm
Gas-Injektions System zur Abscheidung von SiO2, W, Pt
sowie Fluor und H2O
Beschaffung: 02/2005
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Lehrstuhl Metallische Werkstoffe, Prof. Dr.-Ing. Uwe Glatzel - Impressum